업무 사례
특허등록
벤처 기업 인증을 위한 특허법인 테헤란과의 반도체 웨이퍼 정렬 시스템 특허 등록, 성공 사례
등록 특허 정보
- 발명의 명칭 : 다양한 종류의 반도체 웨이퍼를 정확하게 분류할 수 있는 반도체 웨이퍼 정렬 시스템
- 출원번호(일자) : 1020210184961 (2021.12.22)
- 등록번호(일자) : 1023840320000 (2022.04.04)
등록 특허 요약
- 다양한 종류의 반도체 웨이퍼를 정확하게 분류할 수 있는 반도체 웨이퍼 정렬 시스템이 개시
- 본 발명의 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 정렬 시스템은, 외부로부터 격리된 내부공간이 형성되고, 내부공간의 환경을 기설정된 기압, 기온 및 습도를 유지하는 구조
- 내부에 선정렬부(pre-aligner), 정전기제거부, 웨이퍼이송부(WTR) 및 광학검출부를 탑재하는 시스템하우징
- 상기 시스템하우징의 일측에 장착되고, 풉(FOUP)이 안착되는 풉개방부(FOUP opener); 상기 풉(FOUP)으로부터 로딩되는 반도체웨이퍼를 각각 얼라인시키도록 상기 풉개방부(FOUP opener)와 함께 배열
- 상기 반도체웨이퍼를 척킹하는 제1웨이퍼척이 얼라인스테이지 상에서 얼라인을 위해 회전하며, 상기 얼라인스테이지의 일측에 상기 반도체웨이퍼의 플랫 또는 노치를 감지하도록 얼라인감지부가 설치되는 선정렬부(pre-aligner)
- 상기 선정렬부(pre-aligner)의 상부에 장착되고, 포토 이오나이저와 광 조사를 통해 선정렬부(pre-aligner) 상에 거치된 반도체 웨이퍼의 정전기를 제거하는 정전기제거부
- 상기 풉개방부(FOUP opener)에 안착된 풉(FOUP)과 선정렬부(pre-aligner) 사이에 반도체웨이퍼를 이송
- 상기 반도체웨이퍼를 척킹하는 제2웨이퍼척을 가지는 웨이퍼이송부(WTR)
- 상기 선정렬부(pre-aligner)에 의해 얼라인된 반도체웨이퍼에 대한 광학 검사를 실시하기 위한 OCR리더가 아암에 고정되는 광학검출부를 포함하는 것을 구성의 요지
- 본 발명에 따르면, 다양한 종류의 반도체 웨이퍼를 정확하게 분류할 수 있고, 반도체 웨이퍼 상의 소자 패턴에 오염물질이 부착되는 것을 방지할 수 있는 반도체 웨이퍼 정렬 시스템을 제공
테헤란과 함께 한다면?
- 의뢰인께서는 벤처기업 등록을 위해 특허 등록증이 필요한 상황
- 본 건은 새로 개발한 웨이퍼 정렬 시스템에 대한 것으로서 선행기술조사 후 등록이 가능할 것으로 판단되어 진행
- 의견제출통지서가 별도로 통지되지 않았으며 심사관이 따로 유선으로 연락이 와서 기술에 대해 문의
- 검토결과 심사관이 다소 잘못 알고 있는 부분이 있었고 이에 대해 이해시키면서 기술내용을 보다 명확하게 할 수 있도록 자진보정서를 제출
- 심사관은 바로 등록결정을 하였으며, 상당히 빠른 기간내에 등록결정서를 받아볼 수 있었음
- 심사관과의 협의를 통해 보정안을 조정하여 등록에 성공한 케이스
테헤란을 찾는, 본질적인 이유
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테헤란의 특허 등록률은 98%입니다.
업계 평균이 76%에 불과한 것에 비해서 월등한 수치입니다.
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